UNIVEX
Universal experimentation systems
Son nombrados como los sistemas de experimentación universales (Universal experimentation systems), que permiten alcanzar resultados profesionales de alta precisión para diferentes procesos, tanto para investigación y el desarrollo, como para la producción piloto a escala. Con una fuerte convicción en crear productos de alta calidad, Oerlikon Leybold Vacuum ha producido este tipo de sistemas por más de 35 años.
Para los procesos de recubrimiento de película delgada y pruebas de alto vacío, un mejor vacío se traduce en resultados superiores. Los sistemas UNIVEX están diseñados por expertos en tecnologías de vacío, con nuestros componentes de vacío OEM (incluyendo bombas, medidores, válvulas), brindando precisión y confiabilidad a las diversas aplicaciones de nuestros clientes.
El diseño y la segura operación de nuestros sistemas son considerados cuidadosamente por nuestros expertos, mucho antes de que lleguen a manos de nuestros clientes. Mediante un diseño inteligente, los sistemas UNIVEX incluyen componentes clave que ayudan a prevenir peligros potenciales durante su operación.
Para el soporte post-venta, somos su mejor opción. MEISA y Oerlikon Leybold Vacuum están a sus órdenes para proporcionarle piezas de repuesto, soporte in situ y mantenimiento, así como la asistencia de diagnóstico remoto durante el periodo de garantía y más allá.
UNIVEX 250
Mesa de trabajo, sistema de recubrimiento para usos múltiples
UNIVEX de Leybold Vacuum puede personalizar cualquiera de sus sistemas a sus necesidades específicas, por favor no dude en contactarnos y déjenos saber sus requisitos.
Aplicaciones más comunes
- Metalizado - Metalización al contacto ( evaporación de oro, plata, cromo, titanio, níquel, entre otros)
- Contraste de imágenes para Microscopía (óxido de indio, carbono, etc.)
- Película delgada Solar
- Puntos cuánticos
Oerlikon Leybold Vacuum puede personalizar cualquiera de sus sistemas a sus necesidades específicas, por favor no dude en contactarnos y déjenos saber sus requisitos.
Características
- Tamaño de la cámara
- Ancho: 270mm
- Profundo: 370mm
- Alto: 400mm
- Evaporación Térmica
- Hasta 4 materiales
- Evaporación Orgánica
- Hasta 4 materiales
- Evaporación de haz de electrodos
- Multi-pocket o uno sólo
- Pulverización Catódica
- arriba o abajo, 2 x 2"
- Co- deposición
- Evaporación y/o Pulverización Catódica
- Loadlock compatible
- Opcional
- Cámara de agua templada
- Opcional
- Nivel de vacío
- Mid 10-7mbar
- Clean room compatible
- Si
Si requiere mayor información o asesoría no dude en ponerse en contacto.
UNIVEX 400
El UNIVEX 400 es nuestro más popular sistema de experimentación para Investigación y Desarrollo, así como, para pruebas piloto a escala de aplicaciones.
Aplicaciones más comunes
- Película delgada solar : CdTe, CIGS, CZTS procesos de pulverización catódica.
- Electrónica Orgánica (PV, OLED)
- Recubrimientos ópticos
- Microelectrónica
Configuraciones comunes
- Multi-haz de lectrones con evaporador térmico y fuente de iones.
- Hasta cuatro 2"pistolas de bombardeo iónico en la configuración confocal de pulverización catódica arriba o abajo.
- Evaporadores por haz de electrones y orgánicos para formación de perovskita inorgánica o orgánica.
Oerlikon Leybold Vacuum puede personalizar cualquiera de sus sistemas a sus necesidades específicas, por favor no dude en contactarnos y déjenos saber sus requisitos.
Características
- Tamaño de la cámara
- Ancho: 420mm
- Profundo: 480mm
- Alto: 550mm
- Evaporación Térmica
- Hasta 8 materiales
- Evaporación Orgánica
- Hasta 8 materiales
- Evaporación de haz de electrodos
- Multi-pocket o uno sólo
- Pulverización Catódica
- arriba o abajo, 4 x 2" , 3 x 3", 2 x 4" u otra
- Co- deposición
- Evaporación y/o Pulverización Catódica
- Deposición de iones asistida
- Opcional
- Loadlock compatible
- Opcional
- Cámara de agua templada
- Opcional
- Nivel de vacío
- Mid 10-7mbar
- Versión UHV
- Si
- Clean room compatible
- Si
Si requiere mayor información o asesoría no dude en ponerse en contacto.
UNIVEX 600
¿Necesita más espacio en su cámara para múltiples fuentes, múltiples técnicas o por deposición de iones asistida?
Con UNIVEX 600 puede hacerlo. Con la puerta de carga frontal, existe un amplio espacio entre las fuentes.
Hecho a la medida de sus necesidades específicas. Usted puede elegir si desea utilizar un sustrato o varios sustratos.
Aplicaciones más comunes
- Recubrimientos ópticos
- Dispositivos optoelectrónicos
- RAM resistiva
- Superconductores de alta temperatura
Configuraciones comunes
- Calentadores de sustrato y/o enfriadores para el control de sustratos de temperatura elevada
- Multi-haz de electrones con evaporador térmico y fuente de iones
- Paleta, configuración de sustrato abovedados o planetarios para muestras individuales o múltiples
- Pistolas de pulverización múltiple en configuración confocal o cara a cara
Oerlikon Leybold Vacuum puede personalizar cualquiera de sus sistemas a sus necesidades específicas, por favor no dude en contactarnos y déjenos saber sus requisitos.
Características
- Tamaño de la cámara
- Ancho: 600mm
- Profundo: 600mm
- Alto: 800mm
- 550mm (sputter)
- Evaporación Térmica
- Hasta 8 materiales
- Evaporación Orgánica
- Hasta 8 materiales
- Evaporación de haz de electrodos
- Multi-pocket o uno sólo, operación de varias pistolas
- Pulverización Catódica
- arriba o abajo, 4 x 3" , 3 x 4", 6 x 2" u otra
- Co- deposición
- Evaporación y/o Pulverización Catódica
- Deposición de iones asistida
- Opcional
- Loadlock compatible
- Opcional
- Cámara de agua templada
- Opcional
- Nivel de vacío
- Mid 10-7mbar
- Versión UHV
- Si
- Clean room compatible
- Si
Si requiere mayor información o asesoría no dude en ponerse en contacto.
UNIVEX 900
UNIVEX 900 es nuestro caballo de batalla, para muestras más grandes en pruebas piloto a escala o lotes de múltiples muestras.
La forma octagonal de la cámara permite múltiples fuentes de deposición con mayor rendimiento y/o múltiples técnicas para la deposición secuencial.
Aplicaciones más comunes
- Recubrimientos ópticos
- Dispositivos optoelectrónicos
- RAM resistiva
- Superconductores de alta temperatura
Configuraciones comunes
- Calentadores de sustrato y/o enfriadores para el control de sustratos de temperatura elevada
- Multi-haz de electrones con evaporador térmico y fuente de iones
- Paleta, configuración de sustrato abovedados o planetarios para muestras individuales o múltiples
- Pistolas de pulverización múltiple en configuración confocal o cara a cara
Oerlikon Leybold Vacuum puede personalizar cualquiera de sus sistemas a sus necesidades específicas, por favor no dude en contactarnos y déjenos saber sus requisitos.
Características
- Tamaño de la cámara
- Ancho: 900mm
- Profundo: 900mm
- Alto: 1100mm
- Evaporación Térmica
- Hasta 8 materiales
- Evaporación Orgánica
- Hasta 8 materiales
- Evaporación de haz de electrodos
- Multi-pocket o uno sólo, operación de varias pistolas
- Pulverización Catódica
- Opcional
- Co- deposición
- Si
- Deposición de iones asistida
- Opcional
- Loadlock compatible
- Opcional
- Cámara de agua templada
- Opcional
- Nivel de vacío
- Mid 10-7mbar
- Versión UHV
- Si
- Clean room compatible
- Si
Si requiere mayor información o asesoría no dude en ponerse en contacto.
UNIVEX G
Sistemas de deposición con utilización de guantes
Nuestros sistemas de deposición con uso de guantes permiten la carga y recubrimiento de sustratos sensibles a la humedad y al oxígeno, bajo el ambiente inerte de una caja ó guantera.
- Puerta frontal deslizable a la parte posterior (como se muestra) o lateral (no se muestra) de la guantera
- El acceso a la cámara se puede facilitar por una segunda puerta posterior, fuera del laboratoria de la guantera.
- Puerta de entrada sellable (con pestillo y sensores) evita la pérdida de presión cuando la cámara trasera está abierta.
Aplicaciones más comunes
- Metalizado - Metalización al contacto ( evaporación de oro, plat, cromo, titanio, níquel, entre otros)
- Biosensores /Dispositivos médicos
- Electrónica Orgánica: OLED, fotovoltaicos orgánicos.
- Puntos cuánticos / pantalla
- Evaporadores por haz de electrones y orgánicos para para la formación perovskita orgánica o inorgánica.
Características
- Tamaño de la cámara
- Ancho: 370mm
- Profundo: 390mm
- Alto: 500mm
- Evaporación Térmica
- Hasta 8 materiales
- Evaporación Orgánica
- Hasta 4 materiales
- Evaporación de haz de electrodos
- Multi-pocket o uno sólo
- Pulverización Catódica
- Arriba o abajo: 3 x 2" pistolas, o 2 x 3" pistolas
- Co- deposición
- Evaporación y/o Pulverización Catódica
- Deposición de iones asistida
- Opcional
- Loadlock compatible
- Opcional
- Cámara de agua templada
- Opcional
- Nivel de vacío
- Mid 10-7mbar
- Clean room compatible
- Si
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Sistemas Cluster
Si lo que está buscando es máxima flexibilidad, rendimiento y condiciones más limpias, nuestra herramienta Cluster UNIVEX C es la elección correcta para usted. Se adapta a sus necesidades específicas, ya que le permite la puesta en marcha de diversos materiales y procesos en cámaras individuales con la capacidad de transferir muestras entre las cámaras de durante el proceso de vacío.
Algunas configuraciones posibles:
- La combinación de múltiples procesos
- Cámara diseñada especificamente para cada aplicación /proceso
- Transferencia de muestras manual o automática - central de vacío robot ó brazos de transferencia
- Loadlocks (SEMI standard posible)
- Alineadores de sustrato
- Sistemas de casete para el procesamiento de múltiles muestras
- Varias opciones de tratamiento de la muestra
- Condiciones de alta tensión o UHV
- Diseñado para una futura expansión
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Sistemas a la Medida
¿No encuentra un sistema que cumpla con sus requerimientos?
Nuestros ingenieros de Proyectos pueden diseñar un sistema que se adapte a sus necesidades específicas, con configuraciones únicas que le permitan alcanzar resultados extraordinarios (novel).
Algunos ejemplos incluyen:
- Herramientas de deposición para dactiloscopia - detección de huellas digitales
- Recubrimientos decorativos para grandes objetos en 3D
- Cámaras de grabado y de preparación
- Cámaras de análisis y deposición superficial de UHV
- Sistemas de manipulación de sustratos especiales
- Y mucho más...
Configuraciones típicas
- Calentadores de sustrato y/o enfriadores para el control de sustratos de temperatura elevada
- Multi-haz de electrones con evaporador térmico y fuente de iones
- Paleta, configuración de sustrato abovedados o planetarios para muestras individuales o múltiples
- Pistolas de pulverización múltiple en configuración confocal o cara a cara
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